中科院:加快突破光刻機“卡脖子”難題 產(chǎn)業(yè)鏈迎高光時刻
昨日盤后,國新辦就中國科學院“率先行動”計劃第一階段實施進展情況舉行發(fā)布會。
發(fā)布會上,中科院院長白春禮表示:面臨美國對中國高科(600730,股吧)技產(chǎn)業(yè)的打壓,我們希望在這方面能做一些工作。我們把美國“卡脖子”的清單變成我們科研任務清單進行布局,比如航空輪胎、軸承鋼、光刻機,還有一些關鍵的核心技術、關鍵原材料等,我們爭取將來在第二期,聚焦在國家最關注的重大的領域,集中我們全院的力量來做。
目前高精度的光刻機只有荷蘭、美國、日本、德國等少數(shù)企業(yè)掌握,其中荷蘭的阿斯麥公司(ASML)更是其中的龍頭老大,并已經(jīng)占據(jù)了高達80%的市場份額,壟斷高端光刻機市場。
據(jù)悉,目前最先進的EUV光刻機精度為7納米,售價曾高達1億美元一臺,且全球僅僅ASML能夠生產(chǎn)。而英特爾、三星和臺積電都是ASML的股東,享有光刻機的優(yōu)先供貨權。
與此同時,中國自主生產(chǎn)的光刻機精度約為90納米級別,與世界最先進水平大約有15年的技術差距。
芯片制造是我國最大的短板,芯片制造始終繞不開光刻機,直接制約著中國高科技企業(yè)的持續(xù)健康發(fā)展。
其實這些年來,國內早就有設備廠商,以及研究機構在對光刻機進行研發(fā)。如上海微電子、中電科四十五所、中電科四十八所等。
目前我國的北斗三號芯片目前已經(jīng)成功突破了22納米的限制,它所配套的上海微電子技術也取得了重大突破,成功研制出了22nm的光刻機。
方正證券(601901,股吧)陳杭認為光刻機國產(chǎn)替代將迎來新的曙光,尤其是IC前道制造領域,將初步打破國外巨頭完全壟斷的局面,實現(xiàn)從0到1的突破。
建議關注以舉國之力助力國產(chǎn)替代的光刻產(chǎn)業(yè)鏈,一是光刻機核心組件:負責整體集成的上海微電子、負責光源系統(tǒng)的科益虹源,負責物鏡系統(tǒng)的國望光學,負責曝光光學系統(tǒng)的國科精密,負責雙工作臺的華卓精科,負責浸沒系統(tǒng)的啟爾機電;二是光刻配套設施:包括光刻膠,光刻氣體,光掩模版,光刻機缺陷檢測設備,涂膠顯影設備等。
財聯(lián)社整理光刻機相關概念股包括萬業(yè)企業(yè)(600641,股吧)、張江高科(600895,股吧)、奧普光電(002338,股吧)、晶方科技(603005,股吧)、上海新陽(300236,股吧)等。
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